微電子潔凈廠房的特點和火災危險性     上海

微電子潔凈廠房的特點和火災危險性     上海

一、微電子工業(yè)類潔凈廠房的特殊工藝決定了它具有以下特點和火災危險性：

（1）廠房內(nèi)大量存在用特殊的板材設置的潔凈室。潔凈室是個相對密閉空間，有的還是無窗密閉體。一般不設置開啟通風窗，密閉空間一旦發(fā)生火災，熱量難于散發(fā)，產(chǎn)生大量煙氣，給人員疏散和消防隊的撲救造成較大困難。

（2）廠房對工藝加工設備精度和自動化程度要求很高，因而建筑以及生產(chǎn)設備投資十分昂貴，一旦發(fā)生火災，會造成嚴重的經(jīng)濟損失。

（3）廠房操作工藝大多需使用易燃、易爆液體或氣體。一旦有液體或氣體泄漏，就有可能引發(fā)火災、。

（4）潔凈室的電氣設備較多，線路大多為暗敷，檢修比較困難，有了故障及火災時不易發(fā)現(xiàn)。

（5）廠房內(nèi)有許多管道（如通風管、電纜管）跨樓層相通，發(fā)生火災，火勢會順著管道迅速蔓延。

（6）廠房內(nèi)的走廊、通道管，由于工藝的特殊要求，都布置得迂回曲折，人員疏散困難。

（7）室內(nèi)裝修使用了一些高分子合成材料，這些材料在燃燒時產(chǎn)生濃煙，散，有的燃燒速度快。

二、鑒于微電子工業(yè)類潔凈廠房的特殊性和火災危險性，建筑防火設計中應注意以下方面：

（一）防火分隔

1、潔凈廠房的耐火等級不應低于。

2、潔凈廠房樓層數(shù)的判定：由于工藝要求，潔凈廠房的層高一般較普通廠房高，并需要設置上下技術夾層或技術夾道，夾層內(nèi)設置一些設備、風機、風管、電纜、氣體和液體的輸送管道。它與潔凈區(qū)之間由鏤空地板、吊頂或錯綜復雜的管道上下連通。如果將技術夾層算為獨立的一層，防火分隔顯然很困難，筆者借鑒專家的意見認為可將上下技術夾層及生產(chǎn)區(qū)作為一層來考慮，但應在上下夾層內(nèi)設置相應的消防設施。

3、潔凈廠房的防火分區(qū)。由于工藝的需要，生產(chǎn)車間生產(chǎn)線長度達到200余米，按照《民用建筑設計防火規(guī)范》的要求設置防火分區(qū)不現(xiàn)實。鑒于該類工業(yè)的從業(yè)人員少，如果加強安全疏散條件和防火滅火設施配備，可按照生產(chǎn)需要設置防火分區(qū)。

（二）安全疏散

1、安全出口與疏散通道：在潔凈廠房的設計中，人員的安全疏散是尤為重要，也是較復雜的。應按照《潔凈廠房設計規(guī)范》要求每一生產(chǎn)層、每一防火分區(qū)或每一潔凈區(qū)的安全出口數(shù)量，均不應少于二個，且安全出口應當分散布置。設計時應盡量使疏散路線與工藝流程分隔開，滿足從任何一處生產(chǎn)地點至安全出口不經(jīng)過曲折的人員凈化路徑，應直接明了避免曲折，且在走上設置明顯的指示標志。

2、火災撲救出入口的要求：由于潔凈廠房是個封閉間，一旦發(fā)生火災，給消防隊員的撲救帶來困難，因此規(guī)范要求潔凈廠房的外墻應設可供消防隊員通往廠房潔凈區(qū)的消防口，消防口的間距不大于80m，其寬度不應小于750mm，高度不小于1900mm，應有明顯標志，消防口平時可封閉，使用時由消防隊員從室外打開。設計中在廠房內(nèi)的火災撲救入口門應盡量開設在樓梯間內(nèi)或疏散走道上，保證滅火人員的自身安全。

（三）室內(nèi)裝修

潔凈室的頂棚和壁板（包括夾芯材料）應為不燃燒體，且不得采用有機復合材料，潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應設置不燃燒體隔斷設施。這樣可以避免因室內(nèi)任何一方發(fā)生火災殃及另外一方，避免燃燒時產(chǎn)生窒息性氣體、有害氣體等。目前外制造生產(chǎn)的潔凈室用金屬壁板，大部分均能滿足上述要求。

（四）消防給水和滅火設備

1、潔凈室的生產(chǎn)層及上下技術加層（不含不通行的技術夾層），均應設置室內(nèi)消火栓。消火栓的用水量不小于10L/s，每支水槍的出水量應不小于5L/s。

2、潔凈廠房內(nèi)設有貴重設備、儀器的房間應設置固定滅火設施。當設置自動噴水滅火系統(tǒng)時，宜采用預作用式自動噴水滅火系統(tǒng)，當設置氣體滅火系統(tǒng)時，不應采用能導致人員窒息和對保護對象產(chǎn)生二次損害的滅火劑。

（五）消防通訊設施

由于潔凈廠房室內(nèi)大量使用金屬板材，一般屏蔽效果很強。所以在潔凈廠房內(nèi)應設置一套完善的消防通訊設施。這套設施不僅為內(nèi)部職工在發(fā)生火災后報警和通訊使用，更應參與滅火的消防官兵使用，以確?；饒鐾ㄓ嵉臅惩?，減少不必要的通訊中斷和通訊故障，以確保滅火人員的生命安全。

（六）通風和防排煙

1、易燃、易爆區(qū)域的排風應與一般區(qū)域分開，單獨設置，并選擇防爆型排風風機。

2、為保證生產(chǎn)安全和員工安全，應設置事故排風系統(tǒng)。事故排風系統(tǒng)應設自動和手動控制開關，手動控制開關應分別設在潔凈室及潔凈室外便于操作的地點。

3、潔凈廠房的走廊，應設置機械防排煙設施。潔凈廠房內(nèi)管線種類較多，若增加一套防排煙管道有很大難度，潔凈室機械防排煙系統(tǒng)可于通風、凈化空調(diào)系統(tǒng)合用，但必須采取可靠的防火安全措施。

4、風管應采用不燃材料，并根據(jù)相關規(guī)范的要求設置防火閥。

（七）電氣

1、潔凈廠房內(nèi)應設置供人員疏散用的應急照明和疏散指示標志。在消防口處應設置紅色應急照明燈。

2、潔凈廠房內(nèi)應設置備用照明，滿足所需要的場所或部位進行各項活動和工作所需的zui低照度，一般不應低于正常照明照度標準的1/10。

3、潔凈廠房生產(chǎn)區(qū)（包括技術夾層）、機房、站房等均應設置火災報警探測器。潔凈廠房生產(chǎn)區(qū)及走廊應設置手動火災報警按鈕。

4、潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施。